鑫松電器潔凈氮氣柜您值得擁有

發(fā)布時間：2024/12/2 點擊：1139次

產(chǎn)品應(yīng)用：

適合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由于大部分的存儲柜或者是氮氣柜設(shè)計都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。鑫松電器潔凈氮氣柜則適合存放需要低濕保存，同時又需要避免灰塵污染的物品.

 

相關(guān)技術(shù)指標： 

1）潔凈等級

專業(yè)高效潔凈過濾裝置，濾網(wǎng)采用進口超細玻璃纖維,確保潔凈氮氣柜內(nèi)CLASS 10~100級/1000級（10級一般是指空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下，必潔淨度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。   

2）TDH實驗

即存放在潔凈氮氣柜內(nèi)經(jīng)過干燥2小時的硅片不能有不正常或超標返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測試后總數(shù)平均數(shù)與原有硅片顆粒數(shù)對比≦10ea (包括0.2um及0.3um))   

3）降濕速度

除濕性能可達到5%以下,空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒，在氮氣流量不大于70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時間不大于30min；

4) 進口無塵風(fēng)機：采用進口無塵室專用FFU風(fēng)機，面風(fēng)速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘余值測定鑫松電器全功能潔凈氮氣柜（選配）

潔凈氮氣柜內(nèi)放置的硅片盒，經(jīng)過干燥2小時后，硅片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv

6）柜內(nèi)風(fēng)速均勻性

潔凈氮氣柜內(nèi)有氮氣的無死角，可使用風(fēng)速測定儀來檢測內(nèi)部硅片放置各點的風(fēng)速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示及記錄管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達30米；

溫濕度顯示監(jiān)控: 可對溫濕度作24小時不間斷的監(jiān)控，在潔凈柜在完全關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過±5%RH的波動。

 

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